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【新品预览】C53 iComLine电动控制阀


半導體工業對閥門、測量和控制系統提出了嚴格的要求。為此,閥門專家GEMü開發了GEMü C53 iComLine電動控制閥。

 

構造和應用

 

兩位兩通柱塞隔膜閥GEMÜ C53 iComLine是為半導體生產中精密和高要求的控制應用而開發的。閥門的密封概念基于久經考驗的GEMÜ PD設計,執行機構和介質由一個由耐磨的聚四氟乙烯調節錐隔開。GEMÜ C53 iComLine可根據客戶要求定制調節錐、執行機構行程和連接尺寸,滿足高科技半導體行業幾乎所有的控制和流量要求。由于精密步進電機與超純閥體材料的結合,該閥特別適用于光刻、CMP和蝕刻工藝,以及在半導體生產工藝分析領域的應用。

 

優勢與特點

 

GEMÜ C53 iComLine不僅有標準的兩位兩通結構,它也可以集成到GEMÜ PC50 iComLine 多通道閥體中,以便用最小的空間實現復雜的流程圖。例如,當加工硅片時,可以在FOUP清洗機中使用多端口閥塊來控制去離子水的溫度。此外,止回閥和傳感器可以集成到GEMÜ PCi50 iComLine 多通道閥體中。

 

目前GEMÜ C53 iComLine尚未在國內銷售,想要獲得更多相關信息請持續關注蓋米閥門(中國)服務號。

 

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